Vakuumovner er vakuumvarmebehandlingsovner, som er delt inn i henhold til bruksutstyret og inkluderer følgende typer:
Vakuumkjøleovn, vakuumloddeovn, vakuumglødingsovn, vakuummagnetiseringsovn, vakuumtemperingsovn, vakuumsintringsovn, vakuumdiffusjonssveiseovn, vakuumkarbureringsovn, etc.
I henhold til oppvarmingsmetoden er vakuumovnen delt inn i vakuummotstandsovn, vakuuminduksjonsovn, vakuum elektrisk lysbueovn, vakuum selvforbrukbar lysbueovn, elektronstråleovn (også kjent som elektronisk bombardementovn) og plasmaovn.