Vakuumovn, det vil si i det spesifikke rommet til ovnskammeret, brukes vakuumsystemet (nøye sammensatt av vakuumpumpe, vakuummåleanordning, vakuumventil og andre komponenter) til å slippe ut deler av stoffene i ovnskammeret, slik at trykket i ovnskammeret er mindre enn et standard atmosfærisk trykk, og plassen i ovnskammeret brukes til å oppnå en vakuumtilstand, som er en vakuumovn.