Utstyr for oppvarming i vakuummiljø. Ovnskammeret er ført til høyvakuumpumpesystemet i en ovn forseglet med et metall- eller kvartsglassdeksel. Vakuumgraden til ovnen kan nå 133×(10-2~10-4)Pa. Varmesystemet i ovnen kan varmes opp direkte ved elektrisk oppvarming av motstandsovnstråd (som wolframtråd), eller det kan varmes opp ved høyfrekvent induksjon. Maksimal temperatur kan nå rundt 3000 grader. Den brukes hovedsakelig til keramisk brenning, vakuumsmelting, avgassing og gløding av elektriske vakuumdeler, lodding av metalldeler og keramisk-metallforsegling.